凈化等級一般分為100、1000、10000、100000。現在2010年的GMP凈化車間已經不叫這個名字了,分為ABCD級,分別對應98年的幾個等級。凈化等級由檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數和平均沉降量來評價。每個等級都有不同的要求,凈化等級分為靜態和動態兩個等級。
(1)潔凈室之等級世界的所有國家都有自己的規范,但通常使用美國聯邦標準209。以下是209D和209E與世界其他國家制定的標準的介紹和比較。209E和209D最大的區別是在209E指示單位上增加了公制單位,潔凈室等級用前綴M'表示,如M1、M1.5、M2.5、M3等。以此類推,符合國際公制單位的標準化,字母M后的阿拉伯數字表示為每立方米塵埃粒子數=0.5m的10次方。凈網z:Wg1pj美國聯邦標準FS 209D采用英制每立方英尺,日本采用公制,即以0.1m顆粒為計數標準。日本標準符號由1級、2級、3級表示.八班。成績最好的是1班,最差的是8班。它是將每立方米的塵粒總數換算成10的次方,取其指數而得。
(2)潔凈室的定義潔凈室也叫潔凈室或潔凈室。“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內空氣中的顆粒、有害空氣、細菌等污染物,將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內而專門設計的房間。也就是說,無論外界空氣條件如何變化,房間都能具有保持原有設定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。潔凈室最重要的功能是控制產品(如硅片等)所處環境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露的,這樣產品就可以在一個良好的環境空間里生產制造,我們稱之為“潔凈室”。(三)潔凈室控制的項目1。它可以清除空氣中漂浮的灰塵顆粒。2.它可以防止灰塵顆粒的產生。3.溫度和濕度的控制。4.壓力的調整。5.消除有害氣體。6.結構和隔間的氣密性。7.靜電的預防和控制。8.防止電磁干擾。9.安全因素的考慮。10.節能的考慮。